ディスプレイ/半導体工程用精密移送ステージ
ステージBearingタイプ: Air Bearing System
Laser 応用分野: ディスプレイ/モバイル用 強化ガラス/柔軟基板 Cutting
· Laser System: Cutting Head + Scanner System
超精密 エアベアリング Stages
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性能の低下のない長時間駆動が可能
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真空予圧多孔質空気ベアリング使用によりステージの移送真直度とpitch error向上
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測定によりYaw Errorと移送真直度補正
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高負荷容量/高銅剛性
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超精密精度と繰り返してもUltra-precision Accuracy and Repeatability
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応用分野: LCD/OLEDレーザーの製造工程, 檢査裝備 Micro Machining
超精密 エアベアリング Stages
■ SiC(Silicon Carbide)セラミック
Ceramic based Motion Stage
■ ベアリング/スケール/制振台形態
- · Bearing : Vacuum Preloaded Air Bearing System
- · Scale : Laser Scale
- · Isolation System : Active Type
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SiCセラミックに基づくStage
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Air VacuumとAir Bearing Systemの結合
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Bf1 Laser Scale, 獨立的 Systemで作動
