抵抗制御 多孔質セラミック材料素材技術

抵抗性多孔質セラミック真空チャック

セラミック材料を使った部品化技術

帶電防止多孔質セラミック (特許登録番号10-1692219)

· 電気抵抗を制御して,帶電防止特性を持つセラミック材料を気孔サイズ(1~20μm)
と氣孔率(10~48%)を調節し,ディスプレー/半導体工程用Air Bearing,Ceramic Chuck,
Air-Floating Systemなどに適用

セラミック空気Bearing,Chuck

均質な気孔分布により精密浮上と吸着が可能

精密浮上時,基板振動幅: 5μm以下

高温焼結による結合力増大でParticle Issueなし